- Hardheidstest volgens ISO 14577
- Dynamische tests
- 0 - 0,2 N
- Onderzoek & ontwikkeling (in een SEM)
Klein maar krachtig
De ZHN/SEM nano-indenter voor installatie in een Scanning Electron Microscoop (SEM) laat toe micromechanische experimenten uit te voeren terwijl het sample aan maximale resolutie geobserveerd wordt. Hij heeft het grootste meetgebied op de markt, met een maximale verplaatsing van 200 µm en een maximale kracht van 200 mN, gecombineerd met kracht- en verplaatsingssensoren met uiterst weinig ruis en een trillingsarme omgeving. De stijfheid van het instrument is zo hoog dat zonder problemen conventionele hardheidsmetingen kunnen gebeuren.
Het standaard systeem is ontworpen voor installatie op de tafel van verschillende SEMs, maar kan ook gemonteerd worden op de wand van de kamer. De bestaande positioneermogelijkheden van de SEM tafel kunnen gebruikt worden met dit systeem.
Het systeem bestaat uit:
- de meetkop met sensoren en actuator
- een piëzo tafel voor het positioneren van samples in de XY richtingen en optionele rotatie rond de as van het indruklichaam
- een stijve mechanische Z-trap voor verplaatsing van de meetkop in de richting van het sample
- PC en sturing
- gebruiksvriendelijke, uiterst flexibele software
- één of twee flenzen met doorvoer (eigen aan de SEM)
Voordelen en eigenschappen
- De indenter kan gemaakt worden op maat van de klant.
- Zowel kracht- als verplaatsingssturing zijn beschikbaar als gesloten of open regelkring.
- Optioneel dynamische meetmethode met frequenties tot 100 Hz voor vermoeiing en continue stijfheidsmetingen.
- Een buitengewone eigenschap van de meetkop is dat hij zowel in druk- als in trekrichting kan gebruikt worden over het hele meetgebied.
- Gesynchroniseerde video: het opgenomen beeld kan getoond worden met behulp van een bijkomend venster op de PC van de SEM via TCP/IP.
Technisch overzicht
| Beschrijving | Waarde | |
| Artikelnr. | 1020054 | |
| Type | ZHN/SEM | |
| Belasting, max. (Fmax) | ca. 200 | mN1 |
| Verplaatsing, max. | Ca. 200 µm bij 20 mN: 1500 µm bij 200 mN | |
| Krachtresolutie, digitaal | ≤0,02 | μN |
| Verplaatsingsresolutie, digitaal | ≤0,001 | nm |
| Ruis, krachtmeting (RMS) | ≤0,5 | μN |
| Ruis, verplaatsingsmeting (RMS) | ≤0,5 | nm |
| Tafelsysteem | ||
| X- en Y-trap: bewegingsrange (standaard) | 21 x12 | mm |
| X- en Y-trap: positioneernauwkeurigheid | ≤50 | nm |
| X- en Y-trap: resolutie meetsysteem | 1 | nm |
| Z-trap: bewegingsrange | 15 (optioneel 25) | mm |
| Z-trap: positioneernauwkeurigheid | ≤0,1 | µm |
| Z-trap: resolutie meetsysteem | 50 | nm |
- Drukrichting en trekrichting
Typische toepassingen voor de ZHN/SEM
Aanbouw van de nano-indenter aan een elektronenmicroscoop
Druktest op koper monokristal
Breukvastheidsexperimenten op wolfraam
