体积小但功能强大
安装于扫描电子显微镜（SEM）的ZHN/SEM纳米压痕试验机能通过最高分辨率观察试样进行微观机械测试的情况。它拥有现有的最大的测量范围，最高行程测量精度200 µm，最大试验力200 mN，极低的噪音以及低振动环境下的低噪音试验力。仪器的刚度十分高，能毫无困难地进行传统硬度测量。
标准系统研发安装于多种SEM的工作台系统，也能安装于内室壁上。SEM工作台现有的倾斜和定位选项能用于这个系统。
系统包含：
- 配备传感器和作动缸的测量头
- 用于在XY方向定位试样及可围绕压头轴线旋转的压电试样台
- 一个刚性的机械式Z-工作台应用于测量试样的头部。
- PC和控制器
- 简便的操作、高度灵活的软件
- 含导向孔的一个或两个法兰（特用于SEM）
ZHN/SEM的典型应用
连接纳米压痕试验机与扫描电子显微镜
可完全根据您的要求使用合适的适配器，选择调整选项以及使用电子导孔。
单晶铜的压缩试验
SEM拍摄的[1 0 0]铜柱的2 x 2 µm横截面图像（在原位记录）：(a) 3.3 %压缩量(b) 13.4 %压缩量(C) 23.4 %压缩量(d)未施加载荷的试样，在解理面上标注了晶格方向。© 德国萨尔大学C. Motz博士
钨的断裂粗糙度试验
弯曲梁在原位被一个角锥压头施加载荷，所有试样的加载及卸载速率是1 mm/min。在所有试样上观察到稳定的裂纹扩展现象。© 奥地利，莱奥本，ESI的Dr Wurster
测定与尺寸相关的晶体塑性
一个试样的原位拉伸试验的SEM图像(a-e)以及卸载后的图像(f)。应力-应变曲线的相关位置已标注在图片上。二次加载和卸载后的试样台以箭头标注。© 奥地利，莱奥本，ESI的Dr Kiener
