작지만 강하다
주사전자현미경(SEM) 내 설치에 ZHN/SEM 나노 압자를 사용하면 최대 해상도로 시편을 관찰하면서 미세 기계 실험을 수행할 수 있습니다. 현재 사용 가능한 가장 큰 측정 범위를 보유하고 있으며, 최대 변위 측정은 200µm, 최대 힘은 200mN으로, 저진동 환경에서 소음이 매우 적은 힘이나 변위 센서와 결합합니다. 설비 강성이 높아 기존의 경도 측정을 어렵지 않게 수행할 수 있습니다.
표준 시스템은 SEM의 다양한 스테이지 시스템 설치용으로 개발되었지만, 챔버 벽에도 설치할 수 있습니다. SEM 스테이지의 기존 기울기 및 위치 결정 옵션을 이 시스템에서 사용할 수 있습니다.
시스템 구성요소는 다음과 같습니다.
- 센서와 액추에이터가 있는 측정 헤드
- 시편을 XY 방향으로 배치하고 압자 축을 중심으로 선택적으로 회전하기 위한 피에조 스테이지 시스템
- 측정 헤드의 시편 방향 변위를 위한 견고한 기계적 Z-스테이지
- PC 및 컨트롤러
- 사용이 간편하고 매우 유연한 소프트웨어
- 피드 스루가 있는 1개 또는 2개의 플랜지(SEM별)
기술 개요
| 설명 | 값 | |
| 품목 번호 | 1020054 | |
| 유형 | ZHN/SEM | |
| 시험 하중, 최대(Fmax) | 약 200 | mN1 |
| 변위, 최대 | 20mN에서 약 200µm, 200mN에서 1,500µm | |
| 힘 분해능, 디지털 | ≤0.02 | μN |
| 변위 분해능, 디지털 | ≤0.001 | nm |
| 잡음 수준, 힘 측정(RMS) | ≤0.5 | μN |
| 잡음 수준, 변위 측정(RMS) | ≤0.5 | nm |
| 스테이지 시스템 | ||
| X 및 Y 스테이지: 이동 범위 | 21 x12 | mm |
| X 및 Y 스테이지: 위지 지정 정확도 | ≤50 | nm |
| X 및 Y 스테이지: 측정 시스템 분해능 | 1 | nm |
| Z 스테이지: 이동 범위 | 15(옵션 25) | mm |
| Z 스테이지: 위치 결정 정확도 | ≤0.1 | μm |
| Z 스테이지: 측정 시스템 분해능 | 50 | nm |
- 압축 및 인장
ZHN/SEM의 일반 응용 분야
주사전자현미경에 나노 압자 부착
적절한 어댑터 및 조정 옵션과 전기 피드 스루의 생산은 전적으로 사용자의 사양에 따릅니다.
구리 단결정 압축 시험
(a) 3.3 % 압축 (b) 13.4 % 압축 (c) 23.4 % 압축 (d) 결정 방위가 표시되어 있고 활성 벽개면이 있는 무부하 시편 이후 기록된, 단면적이 2 x 2µm인 [1 0 0] 구리 열의 SEM 이미지. © Dr C. Motz, Saarland University, Germany
텅스텐 파괴 인성 실험
벤딩 빔(bending beam)은 큐브 코너 압자로 제자리에 적재되었습니다. 모든 시편의 하중 적재 및 하중 제거 속도는 1mm/분입니다. 모든 시편에서 안정적인 균열 성장이 관찰되었습니다. © Dr Wurster, ESI, Leoben, Austria
결정 크기에 따른 가소성 측정
제자리 인장 시험(a~e) 중과 하중 제거 후(f) 시편의 SEM 이미지. 응력-변형 곡선 내부의 해당 위치가 그래프에 표시됩니다. 두 번째 하중 적재 및 하중 제거 단계가 화살표로 표시됩니다. © Dr Kiener, ESI, Leoben, Austria
