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ZHN/SEM

주사전자현미경용 나노 압자 다운로드
응용 분야
  • ISO 14577에 따른 경도 시험
  • 동적 시험
시험 하중
  • 0~0.2 N
응용 분야
  • R&D(SEM에서)

작지만 강하다

주사전자현미경(SEM) 내 설치에 ZHN/SEM 나노 압자를 사용하면 최대 해상도로 시편을 관찰하면서 미세 기계 실험을 수행할 수 있습니다. 현재 사용 가능한 가장 큰 측정 범위를 보유하고 있으며, 최대 변위 측정은 200µm, 최대 힘은 200mN으로, 저진동 환경에서 소음이 매우 적은 힘이나 변위 센서와 결합합니다. 설비 강성이 높아 기존의 경도 측정을 어렵지 않게 수행할 수 있습니다.

표준 시스템은 SEM의 다양한 스테이지 시스템 설치용으로 개발되었지만, 챔버 벽에도 설치할 수 있습니다. SEM 스테이지의 기존 기울기 및 위치 결정 옵션을 이 시스템에서 사용할 수 있습니다.

시스템 구성요소는 다음과 같습니다.

  • 센서와 액추에이터가 있는 측정 헤드
  • 시편을 XY 방향으로 배치하고 압자 축을 중심으로 선택적으로 회전하기 위한 피에조 스테이지 시스템
  • 측정 헤드의 시편 방향 변위를 위한 견고한 기계적 Z-스테이지
  • PC 및 컨트롤러
  • 사용이 간편하고 매우 유연한 소프트웨어
  • 피드 스루가 있는 1개 또는 2개의 플랜지(SEM별)

특장점

  • 압자를 광범위한 고객의 요구사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
  • 힘과 변위를 폐쇄회로 또는 개방회로로 제어할 수 있습니다.
  • 피로 및 연속 강성 측정을 위한 최대 100Hz 주파수의 동적 측정법을 옵션으로 사용할 수 있습니다.
  • 측정 헤드의 뛰어난 특징은 전체 측정 범위에서 압축 및 인장 방향으로 사용할 수 있다는 점입니다.
  • 영상 동기화: TCP/IP를 통해 SEM 컴퓨터의 추가 창으로 데이터를 전송하여 기록한 이미지를 표시할 수 있습니다.

기술 개요

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