體積小但功能強大
用於安裝在掃描電子顯微鏡 (SEM) 中的 ZHN/SEM 奈米壓痕儀可以在以最大解析度觀察試片的同時進行微機械實驗。它擁有目前可用的最大測量範圍，最大位移量測為 200 µm，最大力為 200 mN，並在低振動環境中結合極低噪聲的力和位移感測器。儀器的剛度非常高，可以毫無困難地進行傳統的硬度測量。
標準系統是為安裝在各種 SEM 的平台系統上而開發的，但也可以安裝在腔壁上。SEM 載物台的現有傾斜和定位選項可用於該系統。
該系統包括：
- 帶有感測器和制動器的測量頭
- 壓電平台系統，用於在 XY 方向上定位試片並可選擇繞壓頭軸旋轉
- 用於將測量頭移向試片的剛性機械 Z 台
- PC 和控制器
- 易於使用、高度靈活的軟體
- 一個或兩個帶引線的凸緣（特定於 SEM）
技術概覽
| Description敘述 | Value價值 | |
| 訂貨號 | 1020054 | |
| 型號 | ZHN/SEM | |
| 最大測試力（Fmax） | 約200 | mN1 |
| 最大位移 | 大約 20 mN 時 200 µm； 200 mN 時 1500 µm | |
| 數位力解析度 | ≤0.02 | μN |
| 數位位移解析度 | ≤0.001 | nm |
| 噪音等級，力量測量 (RMS) | ≤0.5 | μN |
| 噪音等級、位移量測 (RMS) | ≤0.5 | nm |
| 平台系统 | ||
| X 和 Y 平台：移動範圍（標準） | 21 x12 | mm |
| X 和 Y 平台：定位準確度 | ≤50 | nm |
| X 和 Y 平台：測量系統解析度 | 1 | nm |
| Z-stage：移動範圍 | 15（可以選擇25） | mm |
| Z-stage：定位準確度 | ≤0.1 | μm |
| Z-stage：測量系統解析度 | 50 | nm |
- 壓縮和拉伸
ZHN/SEM的典型應用
連接奈米壓痕儀與掃描電子顯微鏡
可完全根據您的要求使用合適的適配器，選擇調整選項以及使用電子導孔。
單晶銅的壓縮測試
SEM拍攝的[1 0 0]銅柱的2 x 2 µm橫截面圖像（在原位紀錄）：(a) 3.3 %壓縮量(b) 13.4 %壓縮量(C) 23.4 %壓縮量(d)未施加負載的試片，在解理面上標注了晶格方向。© 德國沙爾大學 C. Motz博士
鎢的斷裂粗糙度測試
彎曲梁在原位被一個角錐壓頭施加負載，所有試片的加載及卸載速率是1 mm/min。在所有試片上觀察到穩定的裂縫擴展現象。© 奧地利萊奧本，ESI 的 Wurster 博士
測定與尺寸相關的晶體塑性
一個試片的原位拉伸測試的SEM圖像(a-e)以及卸載後的圖像(f)。應力-應變曲線的相關位置已標注在圖片上。二次加載和卸載後的試片台以箭頭標注。© 奧地利萊奧本，ESI 的 Kiener 博士
