- Pengujian kekerasan sesuai ISO 14577
- Uji dinamika
- 0- 0,2 N
- Research & development (di SEM)
Kecil tapi perkasa
Nanoindenter ZHN / SEM untuk pemasangan di mikroskop elektron pemindai (SEM) memungkinkan eksperimen mikromekanis dilakukan sambil mengamati spesimen pada resolusi maksimum. Ini memiliki rentang pengukuran terbesar yang tersedia saat ini, dengan pengukuran perpindahan maksimum 200 µm dan gaya maksimum 200 mN, dikombinasikan dengan gaya kebisingan yang sangat rendah dan sensor perpindahan dalam lingkungan dengan getaran rendah. Kekakuan instrumen sangat tinggi sehingga pengukuran kekerasan konvensional dapat dilakukan tanpa kesulitan.
Sistem standar dikembangkan untuk instalasi pada sistem panggung berbagai SEM, tetapi juga dapat dipasang di dinding ruang. Opsi kemiringan dan pemosisian yang ada pada tahap SEM dapat digunakan dengan sistem ini.
Sistem terdiri dari:
- kepala pengukur dengan sensor dan aktuator
- sistem panggung piezo untuk memposisikan spesimen dalam arah XY dan rotasi opsional di sekitar sumbu indentor
- tahap-Z mekanis yang kaku untuk perpindahan kepala pengukur ke arah spesimen
- PC dan pengontrol
- perangkat lunak yang mudah digunakan dan sangat fleksibel
- satu atau dua flensa dengan feed-through (khusus SEM)
Keunggulan dan fitur
- Indenter dapat disesuaikan dengan kebutuhan pelanggan dalam rentang yang luas.
- Kontrol gaya dan perpindahan tersedia sebagai loop tertutup atau terbuka.
- Metode pengukuran dinamis dengan frekuensi hingga 100 Hz untuk pengukuran kelelahan dan kekakuan berkelanjutan tersedia sebagai opsi.
- Fitur luar biasa dari kepala pengukur adalah dapat digunakan dalam arah kompresi dan tarik di seluruh rentang pengukuran.
- Sinkronisasi video: gambar yang direkam dapat ditampilkan dengan mentransfer data ke jendela tambahan pada komputer SEM melalui TCP / IP.
Ikhtisar teknis
| Deskripsi | Nilai | |
| Item No. | 1020054 | |
| Tipe | ZHN/SEM | |
| Beban uji, maks. (Fmax) | kira-kira 200 | mN1 |
| Perpindahan, maks. | kira-kira. 200 µm pada 20 mN; 1500 µm pada 200 mN | |
| Resolusi paksa, digital | ≤0,02 | μN |
| Resolusi perpindahan, digital | ≤0,001 | nm |
| Tingkat kebisingan, pengukuran gaya (RMS) | ≤0,5 | μN |
| Tingkat kebisingan, pengukuran perpindahan (RMS) | ≤0,5 | nm |
| Sistem panggung | ||
| Tahap X dan Y: rentang gerakan (standar) | 21 x 12 | mm |
| Tahap X dan Y: akurasi posisi | ≤50 | nm |
| Tahap X dan Y: resolusi sistem pengukuran | 1 | nm |
| Z-stage: rentang gerakan | 15 (opsional 25) | mm |
| Z-stage: akurasi posisi | ≤0,1 | μm |
| Z-stage: resolusi sistem pengukuran | 50 | nm |
- Kompresi dan tarik
Aplikasi khas untuk ZHN / SEM
Lampiran dari nanoindenter ke mikroskop elektron pemindaian
Uji kompresi pada monocrystall tembaga
Eksperimen ketangguhan retakan pada tungsten
