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ZHN/SEM

Nanoindenter f├╝r Rasterelektronenmikroskope Download
Anwendungen
  • H├Ąrtepr├╝fung nach ISO 14577
  • Dynamische Tests
Pr├╝flast
  • 0 - 0,2 N
Einsatzgebiet
  • Forschung & Entwicklung (in einem REM)

Klein aber fein

Der Nanoindenter ZHN/SEM zur Installation in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) erm├Âglicht die Durchf├╝hrung mikromechanischer Experimente bei gleichzeitiger Beobachtung der Probe mit h├Âchster Aufl├Âsung. Er bietet den derzeit gr├Â├čten verf├╝gbaren Messbereich mit einer maximalen Wegmessung von 200 ╬╝m und einer Maximalkraft von 200 mN bei gleichzeitig sehr geringem Rauschen der Kraft- und Wegsensoren in einer vibrationsarmen Umgebung. Seine Ger├Ątesteife ist so hoch, dass konventionelle H├Ąrtemessungen ohne Probleme durchf├╝hrbar sind.

Das Standardsystem wurde f├╝r die Installation auf dem Tischsystem verschiedener REMs entwickelt, aber es kann auch an der Kammerwand montiert werden. Die bestehenden Kipp- und Verschiebem├Âglichkeiten des REM-Tisches lassen sich damit weiter nutzen.

Das System besteht aus:

  • dem Messkopf mit Sensoren und Aktuator
  • einem Piezo-Tischsystem zur Probenverschiebung in XY-Richtung und optionaler Rotation um die Eindringk├Ârperachse
  • einem steifen mechanischen Z-Tisch zur Verschiebung des Messkopfes Richtung Probe
  • PC und Controller
  • einfach nutzbarer und sehr flexibler Software
  • ein oder zwei Flanschen mit Durchf├╝hrungen (REM-spezifisch)

Vorteile und Merkmale

  • Der Eindringk├Ârper kann ├╝ber einen weiten Bereich an Kundenw├╝nsche angepasst werden.
  • Kraft- und Wegsteuerung im geschlossenen oder offenen Regelkreis sind verf├╝gbar.
  • Ein dynamisches Messverfahren mit Frequenzen bis 100 Hz f├╝r Erm├╝dungs- und kontinuierliche Steifemessungen ist als Option verf├╝gbar.
  • Ein besonderes Merkmal des Messkopfes ist die Nutzbarkeit in Druck- und Zugrichtung ├╝ber den gesamten Messbereich.
  • Video-Synchronisation: Mit dem Aufnahmebild kann durch ├ťbermittlung der Daten ├╝ber TCP-IP in ein zus├Ątzliches Fenster auf dem REM-Rechner realisiert werden.

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  • Produktinformation: ZHN/SEM - Nanoindenter f├╝r Rasterelektronenmikroskope PDF 1 MB

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