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ZHN/SEM

ナノインデンター スキャニングエレクトロンマイクロスコープ向け ダウンロード
アプリケーション
  • ISO 14577に準拠した硬さ試験
  • 動的試験
試験荷重
  • 0から0.2 N
アプリケーション
  • 研究&開発(SEMで)

小さいが強力

スキャニングエレクトロンマイクロスコープ(SEM)にZHN / SEMナノインデンターをインストールすることにより、最大の解像度で試験片を観察しながらマイクロメカニカルな実験を行うことができます。最大の測定範囲を持ち、最大変位測定値は200 µm、最大力は200 mNであり、低振動環境で非常に低ノイズの力と変位センサーを組み合わせています。装置の剛性が非常に高いため、従来の硬度測定を問題なく実行できます。

標準システムは、さまざまなSEMのステージシステムに設置するために開発されましたが、チャンバーの壁に取り付けることもできます。SEMステージの既存の傾斜および位置決めオプションをこのシステムで使用できます。

システム構成:

  • センサーとアクチュエーター付き測定ヘッド
  • 試験片をXY方向に位置決めするためのピエゾステージシステム、および圧子軸を中心としたオプションでの回転機能
  • 測定ヘッドを試験片に向けて変位させるための剛性の高い機械式Zステージ
  • PCとコントローラー
  • 使い勝手の良いフレキシブルなソフトウェア
  • フィードスルー付きの1つまたは2つのフランジ(SEM固有)

アドバンテージと特徴

  • 圧子はユーザーの要求に応じてテーラーメードされ、幅広く対応しています。
  • 荷重、変位制御はクローズドループ、オープンループに対応しています。
  • オプションにて疲労および連続剛性測定のための最大100 Hzの周波数を使用した動的測定方法も可能
  • 測定ヘッドの優れた特徴は、測定範囲全体にわたって圧縮および引張方向で使用できることです。
  • ビデオ同期:記録された画像は、TCP / IPを介してSEMコンピューターの追加ウィンドウにデータを転送することで表示できます。

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  • プロダクトインフォメーション:ZHN/SEM – スキャニングエレクトロンマイクロスコープ向けナノインデンター PDF 1 MB
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