- Определение твердости по ISO 14577
- Динамические испытания
- 0 - 0,2 Н
- Исследования и разработки (в РЭМ)
Мал да удал
Наноиндентор ZHN/SEM для установки в растровый электронный микроскоп (РЭМ) позволяет проводить микромеханические эксперименты при одновременном наблюдении образца с наивысшим разрешением. Он предлагает наибольший доступный в настоящий момент диапазон измерения с максимальным измерением перемещения в 200 µм и максимальным усилием 200 мН при одновременно очень низким шумом датчиков усилия и перемещения в окружении с низким уровнем вибрации. Его жесткость так высока, что можно без затруднений проводить традиционные измерения твердости.
Стандартная система разработана для инсталляции на столы различных РЭМ, однако также ее можно устанавливать на стенку камеры. Это позволяет использовать существующие возможности отклонения и смещения стола РЭМ.
Система состоит из:
- измерительной головки с датчиками и приводом
- пьезо-стола для перемещения образца в направлении XY и вращения вокруг оси индентора (опция)
- жесткого механического Z-стола для перемещения измерительной головки к образцу
- ПК и контроллера
- простого в управлении и очень гибкого ПО
- одного или двух фланцев с отверстиями (спецификация РЭМ)
Преимущества и признаки
- Индентор можно адаптировать к широкому диапазону пожеланий заказчиков.
- Управление усилием и перемещением возможно в закрытом или открытом контуре регулирования.
- Динамический метод измерения с частотами до 100 Гц для усталостных и непрерывных измерений жесткости доступен в качестве опции.
- Особым признаком измерительной головки является возможность ее использования в направлении сжатия и растяжения по всему диапазону измерения.
- Синхронизация видеосъемки: возможна реализация с изображением посредством передачи данных через TCP-IP в дополнительное окно на ПК РЭМ.
Технический обзор
Описание | Значение | |
Арт.-№ | 1020054 | |
Тип | ZHN/SEM | |
Усилие испытания, макс. (Fmax) | ок. 200 | мН1 |
Смещение, макс. | ок. 200 μм при 20 мН; ок. 1500 μм при 200 мН | |
Разрешение усилия, цифровое | ≤ 0,02 | μН |
Разрешение перемещения, цифровое | ≤ 0,001 | нм |
Уровень шумов силоизмерения (RMS) | ≤ 0,5 | μН |
Уровень шумов измерения перемещения (RMS) | ≤ 0,5 | нм |
Координатный стол | ||
X- и Y-стол: диапазон перемещения (стандарт) | 21 x 12 | мм |
X- и Y-стол: точность позиционирования | ≤ 50 | нм |
X- и Y-стол: разрешение системы измерения | 1 | нм |
Z-стол: диапазон перемещения | 15 (опционально 25) | мм |
Z-стол: точность позиционирования | ≤ 0,1 | μм |
Z-стол: разрешение системы измерения | 50 | нм |
- растяжение и сжатие
Примеры использования прибора ZHN/SEM

Испытание медных монокристаллов на сжатие
