訂貨號 | 1011428 | |
尺寸(H x W x D) | 790 x 640 x 390 | mm |
重量 | 約105 | kg |
電壓 | 230 | V |
光學設備 | ||
配有兩台攝影機的串聯顯微鏡 | 1280 x 1024像素,USB 3.0連接 | |
照明 | 綠色LED,最大額定功率1 W | |
鏡頭 | 50 x1 [ 5 x ]2 | |
焦距 | 0.38 / 10.6 3 [ 10.6 ] | mm |
光學放大至23"(攝影機1/攝影機2) | 1000x / 3350x [ 100x / 335x ] | |
視場(攝影機1/攝影機2) | 324 x 259 μm / 96 x 77 μm [ 3.2 x 2.6 mm / 0.97 x 0.77 mm ] | |
像素解析度小/大(攝影機1/攝影機2) | 254 nm / 76 nm [ 2540 nm / 760 nm ] | |
平台系统 | ||
X-試片台位移 | 100 mm,步長大小50 nm | |
Y-試片台位移 | 200 mm,步長大小50 nm | |
Z-試片台位移 | 70 mm,步長大小10 nm | |
最大試片尺寸(X x Y x Z) | 80 x 80 x 60 | mm |
劃痕測試的最大長度 | 254 | mm |
- 包含在供貨範圍内
- 帶手動位置調節的5x鏡頭,請參見“光學型號”
- 長距離鏡頭,請參見“光學型號”
- 取決於試片表面的平滑度